真空的通俗定义指的是空间中的压力低于标准大气压力时的状态。 真空阀指的是用在真空系统中的阀门，其作用通常为隔离真空区域（如工艺腔室） 或控制气体进出量。由于真空环境基本贯穿半导体制造过程始终，因此真空阀在半导体设备中也有着普遍而广泛的应用。 真空阀和普通阀门在类型上没有本质区别，按作用划分主要有隔离阀、控制阀 （调节阀）、传输阀、泄压阀/排气阀、气体计量阀、止回阀等，在半导体设备的 真空系统中尤其是隔离阀、控制阀、传输阀应用较多；其中，隔离阀和控制阀根 据工作方式又包括闸阀、角阀、蝶阀、球阀、摆阀等。

具体来看，隔离阀起隔绝/接通作用，如可用于连接真空泵，在其运作与否时起 到禁止/允许气体进入真空泵系统的作用；控制阀主要起到控制气体流量和压力 的作用；传输阀则可用于晶圆在腔体之间或腔体和 Load Lock 之间的传输。

2023年全球精密半导体真空阀门市场销售额达到了15亿美元，预计2030年将达到26亿美元，年复合增长率（CAGR）为8.2%（2024-2030）。地区层面来看，中国市场在过去几年变化较快，2023年市场规模为 百万美元，约占全球的 %，预计2030年将达到 百万美元。

精密半导体真空阀门是用于半导体制造和其他高洁净度应用的关键组件，用于控制气体流动和维持精确的真空环境。这些阀门具有高度的精度、可靠性和洁净度，以满足半导体工艺的高要求。总的来说，未来精密半导体真空阀门将更加数字化、智能化，具有更高效能源管理和更广泛的应用。这些趋势将有助于满足不断发展的高科技领域的需求，提高工艺控制的精确度和效率天津市塘沽沃特斯阀门有限公司不断完善产业链，优化产业结构，积极研发新产品，将本公司的特色产品如蝶阀（对夹蝶阀、中线蝶阀、软密封蝶阀、橡胶蝶阀、大口径蝶阀）、球阀（偏心半球阀）、止回阀、排气阀、平衡阀、截止阀、闸阀等推向世界。